Bateau d'évaporation dans la fabrication de dispositifs électroniques: un transporteur clé pour les revêtements de précision

Le bateau d'évaporation dans l'industrie de la fabrication de dispositifs électroniques est principalement utilisé dans les puces semi-conductrices, les écrans à panneaux plat, les composants électroniques et autres processus de fabrication, comme suit:
Fabrication de puces semi-conductrices
Formation de couche d'interconnexion métallique: La puce doit construire des lignes conductrices métalliques complexes pour connecter les transistors et les modules fonctionnels. Les bateaux d'évaporation sont couramment utilisés pour évaporer les matériaux métalliques tels que l'aluminium et le cuivre. Dans un environnement sous vide, le matériau métallique est chauffé à une évaporation à haute température dans le bateau d'évaporation, puis déposé sur la surface de la plaquette pour former un motif d'interconnexion métallique précis par la photolithographie, la gravure et d'autres processus pour réaliser la transmission des signaux électriques à l'intérieur de la puce.
Préparation des couches de barrière et de diffusion: Afin d'empêcher les ions métalliques de diffuser dans la structure des puces et d'affecter les performances des puces, une couche de barrière doit être préparée entre la couche métallique et la couche de semi-conducteur. Les bateaux d'évaporation peuvent être utilisés pour évaporer des matériaux tels que le nitrure de titane (TIN) comme couche de barrière. De plus, dans certains processus, il est également nécessaire d'évaporer les atomes d'impuretés tels que le bore et le phosphore à travers le bateau d'évaporation pour former une couche de diffusion, afin de contrôler avec précision les propriétés électriques du dispositif semi-conducteur de type p ou de type n.
Fabrication d'affichage à panneaux plat
Préparation d'électrodes conductrices transparente: pour les affichages de cristaux liquides (LCD) et les affichages de diodes émettant de la lumière organique (OLED), des électrodes conductrices transparentes sont nécessaires pour conduire les pixels pour émettre de la lumière. Les bateaux d'évaporation peuvent être utilisés pour évaporer les matériaux conducteurs transparents tels que l'oxyde d'étain indium (ITO), qui a une bonne conductivité et une bonne transparence. L'ITO est utilisé pour former un film ITO uniforme sur un substrat en verre à travers le processus d'évaporation, puis modelé par la photolithographie et d'autres processus en tant qu'électrode pour contrôler le transfert de charge et la luminescence des pixels dans l'écran.
Dépôt de couche émettant de la lumière organique: Dans la fabrication de l'affichage OLED, le bateau d'évaporation est l'outil clé pour déposer des matériaux émettants biologiques. En contrôlant précisément la température et le taux d'évaporation du bateau d'évaporation, le matériau OLED est évaporé et déposé sur le substrat pour former une couche OLED ultra-mince. Différents matériaux électroluminescents organiques peuvent émettre différentes couleurs de lumière, grâce à la combinaison de la couche émettrice de lumière organique multicouche et du contrôle précis, peut obtenir un affichage OLED à haute résolution de saturation haute résolution.
Fabrication de composants électroniques
Préparation des résistances minces à couches: les résistances à couches minces sont couramment utilisées dans les circuits électroniques et sont réalisées en déposant un film mince avec une résistivité spécifique sur un substrat isolant. Les bateaux d'évaporation peuvent être utilisés pour évaporer les matériaux résistifs tels que l'alliage de nickel-chrome (NICR) et le nitrure de tantale (Tan). En contrôlant les paramètres du processus d'évaporation, l'épaisseur et la résistivité du film peuvent être contrôlées avec précision, réalisant ainsi la préparation de résistances de film avec différentes valeurs de résistance pour répondre aux besoins de divers circuits électroniques.
Fabrication multicouche de condensateur en céramique (MLCC): les MLCC sont en plusieurs couches de diélectriques en céramique et d'électrodes métalliques empilées alternativement. Les bateaux d'évaporation sont utilisés dans la fabrication MLCC pour évaporer les matériaux d'électrode internes tels que le palladium (PD), l'argent (AG) et d'autres métaux. Pendant la préparation de la couche diélectrique céramique, des électrodes métalliques sont déposées à la surface de la feuille de céramique par le processus d'évaporation, puis la structure multicouche est formée par les processus d'empilement et de frittage pour atteindre une densité de capacité élevée et une mini -aturisation du condensateur.
Des contacts métalliques des téléphones intelligents au film perméable des lunettes AR, Evaporation Boat en tant que "héros en coulisses" de la fabrication électronique des appareils, se fait par l'innovation matérielle et la mise à niveau intelligente, favorisant la limite de la technologie de transformation de micro-nano. Avec la montée en puissance des semi-conducteurs de troisième génération et de l'électronique flexible, la technologie des bateaux d'évaporation continuera d'évoluer et de devenir un consommable haut de gamme indispensable dans la chaîne industrielle.

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