BOUE EN PORTE-À-FAUX AU CARBURE DE SILICIUM
Domaines d'application : Dans les fours à diffusion et les fours à diffusion par oxydation à haute température utilisés dans l'industrie de fabrication de semi-conducteurs pour effectuer la croissance thermique et l'oxydation des tranches de silicium, la palette en porte-à-faux est un élément clé du système de chargement des tranches pour garantir l'uniformité des tranches et des tubes du four pour plus diffusion et oxydation uniformes. Les palettes en porte-à-faux en carbure de silicium se caractérisent par une résistance élevée, une pureté élevée, une conductivité thermique élevée, aucune porosité, une résistance à la corrosion acide et alcaline, aucune contamination à haute température, une bonne stabilité aux chocs thermiques et une capacité de chargement élevée. Combinée à un coefficient de dilatation thermique similaire à celui des revêtements LPCVD, l'utilisation de palettes en porte-à-faux en carbure de silicium dans les LPCVD peut prolonger considérablement les cycles de nettoyage de maintenance et réduire considérablement la contamination.
Description
L’un des principaux avantages de la suspension de carbure de silicium est sa capacité à fournir des résultats cohérents et uniformes. La pâte est capable de fournir une finition lisse et une excellente qualité de surface, garantissant que les pièces usinées sont exemptes de rayures, fissures ou autres défauts.
Un autre avantage de la suspension de carbure de silicium est qu’elle est respectueuse de l’environnement. La boue ne contient aucun composé dangereux ni produit chimique toxique, ce qui la rend sûre à utiliser et à éliminer.
De plus, la suspension de carbure de silicium est très rentable car elle réduit considérablement le gaspillage de matériaux et le temps de traitement. La boue est capable d'éliminer la matière à un rythme plus rapide que les techniques traditionnelles de meulage et de polissage, augmentant ainsi l'efficacité du processus de fabrication.
