Bateaux d'évaporation de nitrure de bore vs. Bateaux en tungstène
Nov 20, 2023
Bateaux d'évaporation de nitrure de bore par rapport aux bateaux en tungstène : différences et avantages
Les bateaux d'évaporation sont largement utilisés pour la production de films minces et de revêtements dans de nombreuses industries telles que l'électronique, l'optique et l'automobile. Parmi les différents matériaux utilisés pour les bateaux d'évaporation, le nitrure de bore (BN) et le tungstène (W) sont deux choix populaires. Voici les différences et avantages des bateaux d’évaporation BN par rapport aux bateaux W traditionnels.
Tout d’abord, le BN a une conductivité thermique beaucoup plus élevée que le W. Cela signifie que les bateaux d’évaporation du BN peuvent transférer plus de chaleur au substrat pendant le processus de dépôt, conduisant à un taux de dépôt plus rapide et plus uniforme. De plus, le BN est un matériau chimiquement inerte, ce qui signifie qu’il ne réagit pas avec les matériaux évaporés ni avec les gaz utilisés dans la chambre à vide. Cela réduit le risque de contamination et améliore la stabilité et la consistance des films minces.
De plus, les bateaux d'évaporation BN ont un point de fusion plus élevé que le W. Le BN peut résister à des températures allant jusqu'à 2 800 degrés, tandis que le W fond à environ 3 422 degrés. Cela signifie que les bateaux BN peuvent être utilisés pour des processus de dépôt à haute température, tels que la pulvérisation réactive et le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD), sans risque de défaillance ou de déformation du bateau.
Un autre avantage des bateaux d’évaporation BN est leur faible pression de vapeur. Cela signifie que le BN ne se vaporise pas pendant le processus de dépôt, ce qui réduit le risque de nucléation et améliore la qualité et la pureté des films minces. De plus, le BN est un matériau non toxique, ce qui en fait un choix plus sûr pour une utilisation dans la chambre à vide.
En résumé, les bateaux d'évaporation BN présentent plusieurs avantages par rapport aux bateaux W, notamment une conductivité thermique plus élevée, une inertie chimique, un point de fusion plus élevé, une faible pression de vapeur et une non-toxicité. Ces propriétés font des bateaux BN un excellent choix pour le dépôt de couches minces hautes performances dans diverses applications industrielles.
Shengyang New Material Co., Ltd. s'engage dans la production de produits transformés en nitrure de bore et en nitrure de bore, et peut personnaliser diverses pièces en céramique isolantes en nitrure de bore en fonction des besoins du client. Contactez-nous si nécessaire.
Tél :+8618560961205
Email:sales@zbsyxc.com
WhatsApp :+8613964302243
